用于 Icp 蚀刻的 Sic 碳化硅陶瓷托盘板

产品信息

外延生长工艺中使用的晶圆载体要经过高温和严格的化学清洗。 Mascera 提供高纯度碳化硅陶瓷托盘板，具有卓越的耐热性、均匀的热分布以实现一致的外延层厚度和电阻，以及强大的耐化学性。

非氧化物陶瓷碳化硅陶瓷（SiC）是一种超硬材料，莫氏硬度高达9.5。碳化硅陶瓷不仅具有优异的常温机械性能，如高弯曲强度、优异的抗氧化性、良好的耐腐蚀性、高耐磨性和低摩擦系数，而且在高温下也具有突出的机械性能（强度、抗蠕变性），高温强度可维持至1600℃，是所有陶瓷材料中最好的。碳化硅陶瓷的抗氧化性能也是所有非氧化物陶瓷中最好的。

Mascera 生产两种形式的碳化硅陶瓷：烧结碳化硅 (SSiC) 和反应粘结碳化硅 (SiSiC)。 

烧结碳化硅陶瓷采用高纯纳米级原料粉体，经2100℃～2200℃高温烧结而成。该烧结过程导致生坯致密化并产生约 20% 的收缩。另一方面，反应结合碳化硅采用微米级碳化硅粉末，并在1450℃至1700℃的温度范围内烧结。与烧结碳化硅不同，反应结合碳化硅在烧结过程中不会发生形状收缩。

烧结碳化硅的烧结温度较高，从而改善了性能特征，包括更高的密度、增加的强度以及增强的抗氧化和耐腐蚀性。对于不需要如此高性能的应用，反应结合碳化硅是更具成本效益的选择

碳化硅陶瓷主要性能

• 高温强度高

• 高温抗氧化性

• 优异的耐磨性

• 热膨胀系数低

• 高导热率

• 优异的耐热震性

• 高硬度

• 由于密度低而重量轻
  

• 良好的耐腐蚀性

碳化硅陶瓷的典型应用

• 机械密封圈

• 阀门用球、阀座、衬套

• 窑具

• 热交换器

• 固定和移动涡轮机部件

• 研磨介质

• 军用防弹板

• 燃烧器组件

• 陶瓷轴承

材料数据表

碳化硅陶瓷的可用形状

1. 陶瓷棒/陶瓷销/陶瓷柱塞

2. 陶瓷管/陶瓷套管/陶瓷套筒

3. 陶瓷环/陶瓷垫圈/陶瓷垫片 

4. 陶瓷盘

5. 陶瓷板/陶瓷块

6. 陶瓷球

7. 陶瓷活塞

8. 陶瓷喷嘴

9. 陶瓷坩埚
   

10. 其他定制陶瓷零件

包装及运输