精密陶瓷元件是半导体产业的基础
作为半导体生产设备的关键部件，其研发和生产精密陶瓷元件直接影响半导体装备制造业乃至整个半导体产业链的发展。可以说精密陶瓷元件是整个半导体行业的基础。
半导体设备市场将超千亿美元，陶瓷元件成本占比超10%
近日，半导体行业协会（SIA）表示，2021年全球芯片销售额将达到创纪录的5559亿美元，比上年增长26.2%。该协会预计，随着芯片制造商继续扩大产能以满足需求，2022年全球芯片销售额将增长8.8%。
半导体市场的快速发展带来了上游设备市场。
据了解，继2020年同比增长17%、2021年同比增长39%之后，预计2022年晶圆厂设备支出将继续增长。SEMI（国际半导体行业协会） ）指出，2022年全球晶圆厂前端设备（不包括封装测试的前端工艺设备，一般是晶圆制造设备）支出预计将超过980亿美元，创历史新高，连续第三年增长的一年。
精密陶瓷已成为半导体设备的关键部件，占成本的10%以上。
在高端光刻机中，为了达到较高的加工精度，陶瓷零件具有良好的功能复合性、结构稳定性、热稳定性、尺寸精度等需要广泛应用，如电子吸盘、真空吸盘、座、磁钢骨架水冷板、镜子、导轨等，这些关键组件一般由精密陶瓷材料。
在蚀刻设备中刻蚀机的腔体材料是晶圆污染的主要来源，等离子刻蚀对其的影响程度决定了晶圆的良率、质量、刻蚀工艺的稳定性等。因此，研究和开发一种极耐刻蚀的腔体材料已成为半导体集成行业和等离子体刻蚀技术中非常具有挑战性的任务。目前，高纯Al2O3涂层或氧化铝陶瓷主要用作蚀刻腔体及腔体内元件的保护材料。除了腔体之外，等离子设备的气体喷嘴、气体分配板以及固定晶圆的固定环也需要精密陶瓷。
半导体器件看似由金属和塑料制成，但实际上有很多高科技精密陶瓷元件隐藏在里面。简而言之，应用精密陶瓷半导体设备的应用远超我们想象
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