外延生长工艺中使用的晶圆载体要经过高温和严格的化学清洗。 Mascera 提供高纯度碳化硅陶瓷托盘板，具有卓越的耐热性、均匀的热分布以实现一致的外延层厚度和电阻，以及强大的耐化学性。 如有任何疑问，请发送电子邮件至 info@mascera-tec.com 或致电 +86 13860446139
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