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不同陶瓷材料的金属化工艺

06-07-2023

金属材料具有良好的塑性、延展性、导电性、导热性,同时陶瓷材料具有耐高温、耐磨、耐腐蚀、高硬度、高绝缘等特点,各有其广泛的应用范围。陶瓷金属化由美国化学家 Charles W. Wood 和 Albert D. Wilson 在 20 世纪初发明,将两种材料结合起来以实现互补的性能。他们于1903年开始研究在陶瓷表面涂覆金属涂层的方法,并于1905年获得该技术的专利。这项技术随后被广泛应用于工业生产,制造具有金属外观和性能的陶瓷产品,如耐热陶瓷和电子产品。设备。

陶瓷金属化是指在陶瓷表面牢固地附着一层薄薄的金属膜,实现陶瓷与金属的焊接。陶瓷金属化工艺有多种,包括钼锰法、镀金法、镀铜法、镀锡法、镀镍法、LAP法(激光辅助镀)等。常见的金属化陶瓷包括氧化铍陶瓷、氧化铝陶瓷,氮化铝陶瓷, 和氮化硅陶瓷。由于不同陶瓷材料的表面结构不同,因此不同的金属化工艺适合于不同陶瓷材料的金属化。

 

1.氧化铍陶瓷

BeO陶瓷最常用的金属化方法是钼锰法。该方法包括在陶瓷表面涂覆纯金属粉末(Mo、Mn)和金属氧化物的糊状混合物,然后在炉中高温加热以形成金属层。在Mo粉中添加10%~25%的Mn是为了改善金属镀层与陶瓷的结合力。

 

2.氧化铝陶瓷

Al2O3陶瓷的主要金属化方法是直接敷铜法(DBC),允许铜箔和Al2O3陶瓷之间直接连接,无需额外材料。其工艺是在Al2O3陶瓷表面覆盖经过处理的铜箔,通入一定氧含量的惰性气体,然后加热。在此过程中,铜表面被氧化,当温度达到共晶液相范围时,Al2O3陶瓷和铜产生共晶液相,润湿两种材料并完成初始连接。在冷却过程中,共晶液相析出Cu和Cu2O,它们存在于界面处以实现紧密连接。

 

3.氮化铝陶瓷

目前,AlN陶瓷的主要使用方法是DBC和活性金属钎焊(AMB)。

AlN陶瓷的直接镀铜方法与Al2O3陶瓷的直接镀铜方法类似,但也有一些区别。这是因为AlN是一种非氧化物陶瓷,共晶液相在其表面扩散很差,无法直接键合。因此需要在1200℃左右进行预氧化,以及约1-2的氧化层AlN陶瓷氧化后表面会生成m。然后在共晶液相存在的温度范围内将预氧化的AlN陶瓷与铜连接,完成AlN镀铜板的制备。

 另一种常用的方法是AMB,它用活性金属钎料将AlN陶瓷和铜箔连接起来,其中Ag-Cu-Ti体系是最常用的。钎料中的Ti为活性金属,质量比例约占1-5%,Cu约占28%,Ag约占67-71%。通过活性金属钎焊连接AlN陶瓷和铜箔的问题是,形成的结构中会留下大量的内应力,这会导致实际应用中的可靠性问题。因此,在钎料成分的设计过程中,除了Ag、Cu、Ti金属颗粒外,还需要添加一些能够减少热失配的填料。目前常用的填料主要有SiC、Mo、TiN、Si3N4、Al2O3等。

 

4.氮化硅陶瓷

Si3N4 陶瓷通常使用活性金属钎焊 (AMB) 与铜连接。直接镀铜不能用于表面金属化的原因氮化硅陶瓷其缺点是Si3N4陶瓷表面不能直接生成氧化层。与AlN类似,Si3N4也是氮化物,它可以与一些活泼金属(Ti、Cr、V)发生化学反应,在界面层生成连续的氮化物,从而实现Si3N4陶瓷与金属钎料的连接。最常用的金属钎料是Ag-Cu-Ti系钎料,但这些钎料的液相线在1200K以下,抗氧化性能较差。钎焊后的使用温度不应高于755 K。


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