半导体设备用氮化硼部件
- MSJ/BN14
- 氮化硼陶瓷
- 定制
- 每种 5 件
- 半导体设备
Mascera生产的热压氮化硼是六方氮化硼粉末经高温压制、烧结而成的先进陶瓷材料。非常适合生产物理气相沉积（PVD）、化学气相沉积（CVD）、等离子等恶劣高温环境下使用的各种屏蔽和绝缘组件。
如有任何疑问，请发送电子邮件至 info@mascera-tec.com 或致电 +86 13860446139
产品信息
Mascera生产的热压氮化硼是六方氮化硼粉末经高温压制、烧结而成的先进陶瓷材料。它是一种致密且易于加工的材料，具有耐高温、低热膨胀系数、低摩擦系数、优异的介电强度和绝缘性等特性。这些特性使其非常适合恶劣高温环境下的各种屏蔽和绝缘组件，例如物理气相沉积（PVD）、化学气相沉积（CVD）和等离子体。这些组件，包括绝缘护罩和导轨、目标框架、保护管、防护罩和衬垫，确保 PVD 电弧保持限制在目标区域，防止设备损坏。
主要性能
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材料数据表
| 材料种类 | BN-997 | BN-99 | BN-A | BN-B | BN-C | BN-D | BN-E |
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主要内容 | BN>99.7% | BN>99% | 氮化硼+铝+硅 | BN+ZR+AL | 氮化硼+碳化硅 | 氮化硼+ZRO2 | 氮化硼+氮化铝 |
颜色 | 白色的 | 白色的 | 浅灰色 | 浅灰色 | 灰绿色 | 深灰色 | 灰绿色 |
密度（克/立方厘米3） | 1.6 | 1.95-2.0 | 2.2-2.3 | 2.25-2.35 | 2.4-2.5 | 2.8-2.9 | 2.8-2.9 |
弯曲强度（Mpa） | 18 | 30 | 65 | 65 | 80 | 90 | 90 |
抗压强度（Mpa） | 45 | 85 | 145 | 145 | 175 | 220 | 220 |
电阻率（Ω.Cm） | >1014 | >1014 | >1013 | >1013 | >1012 | >1012 | >1013 |
最大限度。服务温度(℃) @空调 | 900 | 900 | 900 | 900 | 900 | 900 | 900 |
最大限度。服务温度(℃)@真空条件 | 1800 | 1800 | 1750 | 1750 | 1800 | 1800 | 1750 |
最大限度。服务温度(℃) @惰性气体条件 | 2100 | 2100 | 1750 | 1750 | 1800 | 1800 | 1750 |
导热系数 (W/Mk) | 35 | 40 | 35 | 35 | 45 | 30 | 85 |
热膨胀系数 (25 - 1000℃) (10-6/K) | 1.5 | 1.8 | 2.0 | 2.0 | 2.8 | 3.5 | 2.8 |
使用技巧
1、空气中工作温度不超过900℃，超过900℃会发生氧化。
2.部件应储存在密封容器内干燥的环境中。
3.切勿水洗成分 与水。使用细砂纸或布去除污垢或残留物。
包装及运输
| 包装类型 | 带泡沫保护的纸箱 |
| 付款条件 | TT / 西联汇款 / Paypal 预付款 50%，发货前付款 50% |
| 装货港 | Xiamen, China |
| 运输方式 | 海运/空运/门到门快递 |
